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EVO (B&C) 拘束環
產品說明
  • 採用高強度工程材料製成，用於CMP研磨過程中，能有效固定研磨晶片之位置，提升製程中穩定性。具備耐磨耗、壽命長等特點。
產品應用

N7~3 製程中使用EVO 研磨頭設備。

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